·一次測(cè)量，實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
·實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測(cè)量
·X向采用新型數(shù)字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器
多段式高精度傳感器具有超大量程，較大限度保持了傳感器的原有精度。
采用高剛性高精度免維護(hù)直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，精密控制系統(tǒng)。
采用高速并行數(shù)據(jù)采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無延時(shí)；足夠密集及穩(wěn)定的數(shù)據(jù)源為后期數(shù)據(jù)處理、計(jì)算提供有力的保障。
| 規(guī)格號(hào) | 參數(shù) | |
| 測(cè)量范圍 | X軸 | 0-200mm可選 |
| Z軸 | 0-620mm可選 | |
| Z1軸 | 6mm,2mm | |
| 線性精度 | 輪廓 | ≤±0.07%f.s.(95mm測(cè)桿) |
| 粗糙度 | ≤±(12nm+3%) | |
輪廓測(cè)量：各種類型工件表面的線要素，點(diǎn)要素、點(diǎn)與點(diǎn)的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測(cè)量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù)：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
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